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发明名称 METHOD TO IMPROVE PROFILE CONTROL AND N/P LOADING IN DUAL DOPED GATE APPLICATIONS
摘要
申请公布号 EP1599894(A4) 申请公布日期 2010.04.28
申请号 EP20040715154 申请日期 2004.02.26
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 DEL PUPPO, HELENE;LIN, FRANK;LEE, CHRIS;VAHEDI, VAHID;KAMP, THOMAS, A.;MILLER, ALAN, J.
分类号 H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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