| 发明名称 |
SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1544903(A4) |
申请公布日期 |
2010.04.28 |
| 申请号 |
EP20030798442 |
申请日期 |
2003.09.22 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
HORIGUCHI, TAKAHIRO;KUWAJIMA, RYO |
| 分类号 |
H05B3/14;C23C16/46;C23C16/48;H01L21/00;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/02 |
主分类号 |
H05B3/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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