发明名称 Improvements in or relating to the preparation of semiconductor arrangements
摘要
申请公布号 GB1019527(A) 申请公布日期 1966.02.09
申请号 GB19640023093 申请日期 1964.06.04
申请人 SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/033;H01L21/18;H01L21/314 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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