由液体/蒸气沉积法对基质涂敷金属的方法

摘要

一种通过含金属前体的分解而在一种或多种基质上沉积基本上纯的保形金属层的方法。在该沉积方法中，基质维持在高于前体分解温度的温度下而周围的空气维持在低于前体分解温度的温度下。前体分散在输送介质例如蒸气相中。其中还含有液体的蒸气相中的含金属前体浓度可以是提供处于或接近金属前体饱和条件的水平。通过确保输送介质和基质之间的上述温度控制并且维持输送介质的饱和条件，沉积金属薄膜的质量得到显著改进，并且显著减少或基本上消除了金属粉尘副产物的产生。

主权项

一种通过沉积法控制基质上的金属涂敷的方法，该方法包括：通过室将输送介质中的含金属前体输送到达基质，其中输送空间中的温度低于含金属前体的分解温度；通过含金属前体在基质上的分解而将金属层沉积到基质上，其中基质温度高于含金属前体的分解温度；其中直接测量基质温度和输送空间中的含金属前体的温度；以及通过控制所述的基质温度、输送空间中的含金属前体的温度和保持所述前体在所述输送空间中的饱和条件而控制所述金属层在所述基质上的沉积速率和质量。