| 摘要 |
1. Способ измерения качества поверхности подложки, включающий следующие этапы: ! получение цифрового изображения участка поверхности подложки используя устройство получения изображения; и ! измерение одной или более физических характеристик полученного цифрового изображения, чтобы дать указание качества поверхности подложки. ! 2. Способ по п.1, включающий этап освещения под углом к основной плоскости подложки части поверхности подложки до получения цифрового изображения. ! 3. Способ по пп.1 или 2, где полученное цифровое изображение включает ряд пикселей, и способ включает измерение для измеряемой области пикселей в полученном цифровом изображении, физической характеристики каждого пикселя и сравнение измеренной физической характеристики каждого пикселя в тестируемой области с измеренной физической характеристикой соседнего пикселя. ! 4. Способ по п.1, где физическая характеристика измеряется как яркость каждого пикселя. ! 5. Способ по п.1, включающий этап сравнения измеренной физической характеристики каждого пикселя в тестируемой области с измеренной физической характеристикой двух или более соседних пикселей. ! 6. Способ по п.1, где тестируемая область пикселей в полученном цифровом изображении включает ряд пикселей в рядах и столбцах, и способ включает сравнение измеренной физической характеристики каждого пикселя в тестируемой области с измеренной физической характеристикой первого соседнего пикселя, расположенного в том же ряду и с измеренной физической характеристикой второго соседнего пикселя, расположенного в том же столбце. ! 7. Способ по п.6. включающий сравнение измеренной физической хара� |
