| 摘要 |
1. Коррозионный кислотный раствор для приготовления поликремниевой текстуры, содержащий смешанные окислитель и раствор фтористоводородной кислоты, где окислителем является нитрат или нитрит. ! 2. Коррозионный кислотный раствор для приготовления поликремниевой текстуры по п.1, где нитрат является нитратом натрия, нитратом калия или нитратом аммония, нитрит является нитритом натрия, нитритом калия или нитритом аммония. ! 3. Коррозионный кислотный раствор для приготовления поликремниевой текстуры по п.1, где окислитель имеет концентрацию от 0,1 до 10 моль/л, а раствор фтористоводородной кислоты имеет концентрацию от 10 до 25 моль/л. ! 4. Коррозионный кислотный раствор для приготовления поликремниевой текстуры по п.1, где окислитель имеет концентрацию от 0,3 до 5 моль/л, а раствор фтористоводородной кислоты имеет концентрацию от 15 до 22 моль/л. !5. Способ приготовления поликремниевой текстуры путем применения коррозионного кислотного раствора по любому из пп.1, 2 или 3, включающий: установление температуры коррозионного кислотного раствора в пределах от - 10 до 25°C; и погружение зачищенных поликремниевых пластин в коррозионный кислотный раствор для выполнения реакции коррозии на время от 30 с до 20 мин. ! 6. Способ приготовления поликремниевой текстуры по п.4, где температура реакции составляет от 0 до 15°C. ! 7. Способ приготовления поликремниевой текстуры по п.4, где время реакции составляет от 1 до 10 мин. |
