发明名称 METHOD FOR FORMING RECESS PATTERN IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100954116(B1) 申请公布日期 2010.04.23
申请号 KR20060108820 申请日期 2006.11.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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