发明名称 Cryopanel and cryopump using the cryopanel
摘要
申请公布号 KR100954302(B1) 申请公布日期 2010.04.23
申请号 KR20080077737 申请日期 2008.08.08
申请人 发明人
分类号 F04B37/08;F04B37/02 主分类号 F04B37/08
代理机构 代理人
主权项
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