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发明名称
Cryopanel and cryopump using the cryopanel
摘要
申请公布号
KR100954302(B1)
申请公布日期
2010.04.23
申请号
KR20080077737
申请日期
2008.08.08
申请人
发明人
分类号
F04B37/08;F04B37/02
主分类号
F04B37/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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