发明名称 PROCEDE DE TRAITEMENT DE DEFAUTS D'INTERFACE DANS UN SUBSTRAT.
摘要
申请公布号 FR2918792(B1) 申请公布日期 2010.04.23
申请号 FR20070056370 申请日期 2007.07.10
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 MAZURE CARLOS;CAYREFOURCQ IAN;BOURDELLE KONSTANTIN
分类号 H01L21/322;H01L21/265;H01L21/324 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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