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发明名称 GUIDING DEVICE AND GUIDING ASSEMBLY FOR GUIDING CABLES AND/OR HOSES, AND A LITHOGRAPHIC APPARATUS.
摘要
申请公布号 NL2003509(A) 申请公布日期 2010.04.22
申请号 NL20092003509 申请日期 2009.09.18
申请人 ASML NETHERLANDS B.V., 发明人 KRASTEV, KRASSIMIR
分类号 G03F7/20;H02G11/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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