| 摘要 |
Die Erfindung betrifft Ausgestaltungen einer Transportvorrichtung für eine Vakuumprozessanlage, einer Antriebseinrichtung für Hochtemperaturprozesse in Vakuumprozessanlagen, und eine Vakuumprozessanlage mit einer derartigen Antriebseinrichtung. Die Lösung der Aufgabe, eine Antriebseinrichtung, insbesondere für eine Anlagenkomponente einer Vakkumprozessanlage, zu entwickeln, welche polygoneffektfrei arbeitet, sich endlos verbinden lässt, für hohe Temperaturen geeignet ist, unempfindlich gegen Strahlungswärme ist, keine Ausgasung erzeugt und keinen Schmierstoff benötigt, wird durch eine Antriebseinrichtung für eine Anlagenkomponente einer Vakuumprozessanlage erreicht, welche ein um mindestens zwei Umlenkrollen (2) geführtes Zugmittel (4) umfasst, wobei das Zugmittel (4) ein endloses Metallband ist.
|
