Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung,申请号DE20046025893T-传众专利搜索

发明名称	Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
摘要
申请公布号	DE602004025893(D1)	申请公布日期	2010.04.22
申请号	DE20046025893T	申请日期	2004.10.26
申请人	CARL ZEISS SMT AG;ASML NETHERLANDS B.V.	发明人	HOOGENDAM, CHRISTIAAN ALEXANDER;LOOPSTRA, ERIK ROELOF;STREEFKERK, BOB;GELLRICH, BERNARD;WURMBRAND, ANDREAS
分类号	G03F7/20;H01L21/027	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
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