电浆生成方法及装置，以及电浆处理装置

摘要

本发明的课题是在于提供一种使电感耦合型电浆发生的电浆生成方法及装置，可压低电浆的电子温度之方法及装置。并且，提供一种利用该电浆生成装置的电浆处理装置。其解决手段系具有电浆生成室1、设置于室1内的至少一根高频天线2及高频电力供给装置(电源41等)，由高频天线2来将自高频电力供给装置所供给的高频电力施加于室1内气体，而使电感耦合型电浆发生之电浆生成方法及装置，以及利用该装置的电浆处理装置。高频天线2是被设定成阻抗45 Ω以下。

主权项

一种电浆生成方法，系于电浆生成室内设置至少一根的高频天线，使用该高频天线来对该电浆生成室内的气体施加高频电力，而使电感耦合电浆发生之电浆生成方法，其特征为：将该各高频天线的阻抗设定成45Ω以下。