摘要 |
一种研磨组合体,包含一基片及一覆设在该基片上的研磨片单元。该研磨片单元的外周缘大于或等于该基片的外周缘,并包括多数围绕一通过该基片中心的轴线相组接的研磨片,每一研磨片各具有一邻近该轴线的内径片体,及一自该内径片体向外延伸的外径片体,该等内径片体是呈不交叠地相并接,及该等外径片体是呈局部交叠地相接合。藉由该研磨片的形式,使该研磨片单元的内圈部分呈平整研磨面,外圈部分则透过局部交叠提供弹性缓冲效果,且使每一研磨片的有效研磨面积增加并减少研磨片用量,进而使本新型能提升整体研磨面积、省料与减轻重量。 |