基板的剥离治具及其剥离基板的方法

摘要

一种基板的剥离治具，适于剥离一基板上之至少一剥离层。此基板的剥离治具包括一基板吸附装置、一剥离层移除器以及一驱动装置。基板吸附装置具有一适于吸附基板的吸附面。剥离层移除器具有至少一剥离层衔接部，其配置于吸附面上方。剥离层衔接部适于衔接剥离层之一末端。驱动装置连接剥离层移除器或基板吸附装置，以适于驱动剥离层衔接部与基板吸附装置相对移动。如此，利用此基板的剥离治具取代人力以移除基板上之剥离层。

主权项

一种基板的剥离治具，适于剥离一基板上之至少一剥离层，该基板的剥离治具包括：一基板吸附装置，具有一吸附面，其适于吸附该基板；一剥离层移除器，具有至少一剥离层衔接部，其配置于该吸附面上方，该剥离层衔接部适于衔接该剥离层之一末端；一驱动装置，连接该剥离层移除器或该基板吸附装置，且适于使该剥离层衔接部与该基板吸附装置相对移动；一辅助剥离装置，连接该驱动装置，用以辅助该剥离层移除器移除该剥离层。