于制程系统中传送一基材之方法以及电脑可读取媒体

摘要

兹提供一种用于判定一制程系统中一基材之交换位置的方法与设备。于一实施例中，系提供一种于一制程系统中判定一基材之交换位置的方法，该方法包括判定一制程处理室内一初始交换位置，及辨析于该交换位置之改变。该辨析步骤更可包括感应一交换处理室(其具有与之相接的制程处理室)之一面的温度改变、感应该系统状态的改变或感应该制程处理室之位置改变。

主权项

一种于一制程系统中传送一基材之方法，该制程系统具有至少一制程处理室连接至一传送处理室，该传送处理室可存放一机器人，该方法至少包含：教示该机器人移动至界定于该制程系统中之一交换位置；藉由感应该制程系统之一部份内的温度改变或感应该至少一制程处理室之状态改变之至少一者来监控该制程系统内之一条件；依据所监控之条件判定于该交换位置之一偏移；以及校正该机器人之移动，以补偿于该交换位置经判定之偏移。