发明名称 曝光机的平台装置
摘要 一种曝光机的平台装置,包含一平台、一平台盖、复数第一定位件以及复数第二定位件。平台包括一框座及一透明且设置于框座内的第一板体,平台盖包括一透明的第二板体以及复数设置于第二板体板缘并且不相连接的边框,第一定位件相互间隔地设置于框座并且位于第一板体外围,第一定位件具有一可弹性地往上凸出框座的定位凸部,第二定位件对应第一定位件地设置于第二板体,第二定位件底部凹陷形成有一凹穴,当平台盖盖合于平台时,定位凸部将伸入凹穴使平台与平台盖相定位。
申请公布号 TWM379162 申请公布日期 2010.04.21
申请号 TW098222009 申请日期 2009.11.25
申请人 志圣工业股份有限公司 发明人 王俊元
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人 高玉骏;杨祺雄
主权项 一种曝光机的平台装置,适于放置一预备曝光的基板,该曝光机的平台装置包含:一平台,包括一框座及一透明的第一板体,该第一板体设置于该框座内并且能供放置该基板;一平台盖,包括一透明的第二板体以及复数设置于该第二板体板缘并且不相连接的边框,该平台盖藉该等边框与该平台之框座连接而能相对于该平台掀合;复数第一定位件,相互间隔地设置于该框座并且位于该第一板体外围,每一第一定位件具有一可弹性地往上凸出该框座的定位凸部;复数第二定位件,分别对应该等第一定位件地设置于该第二板体,每一第二定位件底部凹陷形成有一凹穴,当该平台盖盖合于该平台上,该等定位凸部分别伸入该等凹穴。
地址 台北县林口乡工二工业区工八路2之1号