一种带有光学分离子检测装置的非损伤微测系统

摘要

一种带有光学分离子检测装置的非损伤微测系统，包括电极离子/分子信息检测单元、光学离子/分子信息检测单元、数据采集/放大系统、可编程三维运动系统以及计算机自动控制/数据处理系统，属光机电一体化技术领域。计算机自动控制/数据处理系统既可以同时控制电极离子/分子信息检测单元和光学离子/分子信息检测单元协同测试，同时记录处理两个检测单元的数据信息；又可以只控制电极单元或光学单元单独检测。通过配备光学分离子检测装置，能够实现样品内外离子/分子同时测量等操作，使得测试实验获得的数据更加全面，可靠性更高，适应不同行业、不同领域的测试要求，大大扩展了测试数据的应用范围，也有利于节约人力物力财力成本。

主权项

一种带有光学分离子检测装置的非损伤微测系统，包括电极离子/分子信息检测单元(1)、数据采集/放大系统(3)、可编程三维运动系统(4)以及计算机自动控制/数据处理系统(5)，其特征是，还包括光学离子/分子信息检测单元(2)，其中电极离子/分子信息检测单元(1)的微电极(1-2)固定在三维步进电机(4-2)的机械臂上，分别与数据采集/放大系统(3)和计算机自动控制/数据处理系统(5)连接，运动控制器(4-1)分别与三维步进电机(4-2)和光学离子/分子信息检测单元(2)的显微镜(2-1)连接；光学离子/分子信息检测单元(2)的光信息采集系统(2-2)和计算机自动控制/数据处理系统(5)连接；电极离子/分子信息检测单元(1)和光学离子/分子信息检测单元(2)分别检测被测样品的分离子信息，传输到计算机自动控制/数据处理系统(5)，计算机自动控制/数据处理系统(5)输出控制信号控制电极离子/分子信息检测单元(1)和光学离子/分子信息检测单元(2)的测试过程。