硅片喷淋清洗槽

摘要

本实用新型公开了一种硅片喷淋清洗槽，设有槽体，其特征在于：槽体内可放置硅片清洗花篮(9)，在槽体(1)的一端设有平移气缸(6)，该气缸上通过固定块(7)固定装有水平移动的平移喷淋管(2)，该喷淋管上设有喷嘴(3)；在槽体一端的下部设有升降气缸(5)，该气缸通过安装板(8)固定装有在槽体内两侧升降移动的两个升降喷淋管(4)，该喷淋管上设有喷嘴(3.1)。本实用新型适用于硅片整篮进行清洗，操作简便，能全方位均匀清洗，不损伤硅片。

主权项

一种硅片喷淋清洗槽，设有槽体，其特征在于：槽体内可放置硅片清洗花篮(9)，在槽体(1)的一端设有平移气缸(6)，该气缸上通过固定块(7)固定装有水平移动的平移喷淋管(2)，该喷淋管上设有喷嘴(3)；在槽体一端的下部设有升降气缸(5)，该气缸通过安装板(8)固定装有在槽体内两侧升降移动的两个升降喷淋管(4)，该喷淋管上设有喷嘴(3.1)。