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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR ACTUATION OF A TWO-AXIS MEMS DEVICE USING THREE ACTUATION ELEMENTS
摘要
申请公布号 EP1488500(A4) 申请公布日期 2010.04.21
申请号 EP20030744157 申请日期 2003.03.03
申请人 GLIMMERGLASS NETWORKS, INC. 发明人 FERNANDEZ, ANDRES;DICKSON, WILLIAM, C.
分类号 G02B26/08;B81B3/00;G02B;G02B26/10;H02N1/00;(IPC1-7):H02N1/00 主分类号 G02B26/08
代理机构 代理人
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