台架装置

摘要

本发明的台架装置能分割而进行陆路运输、同时确保对被处理基板进行准确处理。台架装置(11)备有夹着设有被处理基板的基板支承面地相向配置的一对导架(13X1、13X2)、和可移动地支承在该对导架(13X1、13X2)上面的门形架(13Y)。该台架装置(11)由含有一方导架(13X1)的第1构造体(V1)、含有另一方导架(13X2)的第2构造体(V2)、和含有门形架(13Y)的第3构造体(V3)的结合体构成。这样，即使是大型的台架装置，也能自由分离成各构造体(V1～V3)，从而能进行陆路运输。另外，由于在门形架(13Y)的移动路径上没有接缝，故不损害门形架(13Y)的移送精度，可确保准确的基板处理。

主权项

一种台架装置，其备有：支承被处理基板的载置台；第1构造体，所述第1构造体含有在第1方向延伸的第1导架、支承所述第1导架和所述载置台的第1架台；第2构造体，所述第2构造体含有在第1方向延伸并夹着所述载置台与所述第1导架平行地设置的第2导架、和支承所述第2导架和所述载置台的第2架台；第3构造体，所述第3构造体含有横跨在所述第1及第2导架之间延伸并可相对于所述第1及第2导架自由移动地受到支承的门形架、和设置在所述门形架上的基板处理单元；所述第1架台和所述第2架台在相对于所述第1方向正交的方向能够分离。