发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR SMOOTHING THIN CONDUCTIVE FILMS BY GAS CLUSTER ION BEAM |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1238119(A4) |
申请公布日期 |
2010.04.21 |
申请号 |
EP20000992625 |
申请日期 |
2000.12.05 |
申请人 |
TEL EPION INC. |
发明人 |
SKINNER, WESLEY J.;KIRKPATRICK, ALLEN R. |
分类号 |
C23C14/32;C23C14/22;G11B5/39;G11B5/84;H01F41/30;H01J37/305;H01L21/321;H01L43/08;H01L43/12;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/32 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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