发明名称 |
探针卡 |
摘要 |
本实用新型公开了一种探针卡,其对作为检测对象的测试单元进行电信号的测试,所述探针卡包括电路板、探针以及探针环,所述探针一端连接在所述电路板上,另一端穿过所述探针环并集中在所述探针环内,在所述探针与所述电路板之间串联有电阻元件。所述电阻元件的电阻小于检测对象的测试单元的绝缘电阻。所述电阻元件的电阻值范围为500~2000欧姆。与现有技术相比,本实用新型提出的探针卡通过在所述探针与所述电路板之间串联有电阻元件,避免了流经探针的电流瞬间过大而融化探针。 |
申请公布号 |
CN201440146U |
申请公布日期 |
2010.04.21 |
申请号 |
CN200920207710.6 |
申请日期 |
2009.08.11 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
何莲群;杨莉娟;周华阳 |
分类号 |
G01R1/067(2006.01)I;G01R1/073(2006.01)I |
主分类号 |
G01R1/067(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种探针卡,其对作为检测对象的测试单元进行电信号的测试,所述探针卡包括电路板、探针以及探针环,所述探针一端连接在所述电路板上,另一端穿过所述探针环并集中在所述探针环内,其特征在于:在所述探针与所述电路板之间串联有电阻元件。 |
地址 |
201203 上海市张江路18号 |