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发明名称 Procédé de polissage
摘要
申请公布号 FR1456681(A) 申请公布日期 1966.07.08
申请号 FR19650027666 申请日期 1965.08.09
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人
分类号 C23F3/00;H01L21/00 主分类号 C23F3/00
代理机构 代理人
主权项
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