发明名称 VACUUM GATE VALVE
摘要
申请公布号 KR100954212(B1) 申请公布日期 2010.04.21
申请号 KR20070115481 申请日期 2007.11.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/02 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
地址