大口径非球面镜的制造方法

摘要

本发明公开了一种大口径非球面镜的制造方法，包括下列步骤：(1)按非球面度梯度法计算出最接近球面，并按最接近球面半径，加工完成超薄球面镜；(2)按非球面度梯度变化率法得到致动器排布初始方案，经过优化得到致动器排布的最终解和每个致动器的强制位移量；(3)加工完成致动器组件；(4)将加工完成的超薄球面镜安放到致动器组件上，通过调节致动器位移量，使超薄球面镜达到设计的最接近球面半径值和面形精度；(5)根据步骤(2)得到的每个致动器的强制位移量，调节位移致动器，使球面镜变形成所需的非球面面形，即获得所需的大口径非球面。本发明避开了大口径非球面镜加工和检测难题，极大地降低了加工和检测的难度，缩短了制造周期，降低了制造成本。

主权项

一种大口径非球面镜的制造方法，其特征在于，包括下列步骤：(1)根据所需的非球面面形，按非球面度梯度法计算出最接近球面，并按最接近球面半径，加工完成超薄球面镜；(2)按非球面度梯度变化率法得到致动器排布初始方案，经过优化得到致动器排布的最终解和每个致动器的强制位移量；(3)加工完成致动器组件；(4)将加工完成的超薄球面镜安放到致动器组件上，通过调节致动器位移量，使超薄球面镜达到设计的最接近球面半径值和面形精度；(5)根据步骤(2)得到的每个致动器的强制位移量，调节位移致动器，使球面镜变形成所需的非球面面形，即获得所需的大口径非球面；其中，所述步骤(1)中获得的超薄球面镜厚度在1～4毫米，口径大于等于0.5米。