辐射敏感性树脂组合物

摘要

提供一种辐射敏感性树脂组合物，该辐射敏感性组合物含有由活性自由基聚合得到的含有能电离出酸性基团的树脂和辐射敏感性酸产生剂，该含有能电离出酸性基团的树脂具有通过碱不溶性或碱难溶性酸作用获得碱易溶性的特定构造，上述含有能电离出酸性基团的树脂的重均分子量和数均分子量之比(重均分子量/数均分子量)小于1.5。

主权项

1.一种ArF受激准分子激光用辐射敏感性树脂组合物，其特征在于该辐射敏感性树脂组合物含有合酸解离性基团的树脂和辐射敏感性酸产生剂，该含酸解离性基团的树脂通过酸作用由碱不溶性或碱难溶性成为碱易溶性，上述含有酸解离性基团的树脂含有下式(1)表示的重复单元，重均分子量和数均分子量之比、即重均分子量/数均分子量小于1.5，使用活性自由基聚合引发剂得到，上述含有酸解离性基团的树脂含有式(1)表示的重复单元以及选自式(2′)～式(7′)表示的重复单元组的至少1种的重复单元；所述活性自由基聚合引发剂是下式(8)表示的化合物，式(1)中，R¹相互独立地表示氢、甲基、三氟甲基或羟甲基，R²相互独立地表示碳原子数为4～20的1价脂环烃基或碳原子数为1～4的直链或支链烷基，且R²的至少一个为该脂环烃基，或任何2个R²相互结合，包括各自结合的碳原子一起形成碳原子数为4～20的2价脂环烃基，剩下的R²为碳原子数为1～4的直链或支链的烷基或碳原子数为4～20的1价脂环烃基，式(2′)～式(7′)中，A表示单键或任选具有碳原子数为1～6的取代基的直链或支链的亚烷基、单或二亚烷基二醇基、亚烷基酯基，B表示单键或也可以具有碳原子数为1～3的取代基的亚烷基、烷氧基、氧原子，E表示单键或碳原子数为1～3的2价烷基，R³相互独立地表示羟基、氰基、羧基、-COOR⁵、或-Y-R⁶，R⁵为氢原子或碳原子数为1～4的直链或支链的烷基或碳原子数为3～20的脂环烷基，Y相互独立地表示单键或碳原子数为1～3的2价亚烷基，R⁶相互独立地表示氢原子、羟基、氰基或-COOR⁷基，至少一个R³不是氢原子，R⁷表示氢原子或碳原子数1～4的直链或支链的烷基、或碳原子数为3～20的脂环烷基，G表示单键、碳原子数为1～6的直链或支链的亚烷基或碳原子数为4～20的脂环烃基、亚烷基二醇基、亚烷基酯基，J、L、N、M分别独立地表示单键、也可以具有碳原子数为1～20的取代基的直链、支链、环状的亚烷基、亚烷基二醇基、亚烷基酯基，p为0或1，R⁴表示氢原子、碳原子数为1～4的直链或支链烷基、烷氧基、羟基烷基、碳原子数为3～20的2价的脂环烃基，q为1或2；式(8)中，R’表示任选含有酯基、醚基、氨基、酰胺基的碳原子数为1～15的烷基或芳基，Y表示单键结合、氧原子、氮原子或硫原子，R”表示任选含有酯基、醚基、氨基的碳原子数为1～15的烷基或芳基。