发明名称 反应管
摘要 1.本外观设计产品为一种半导体制造用衬底处理装置。2.本外观设计产品由透明材料制成。3.右视图与左视图对称,故省略右视图。
申请公布号 CN301176653S 申请公布日期 2010.04.21
申请号 CN200830138350.X 申请日期 2008.11.07
申请人 株式会社日立国际电气 发明人 中岛诚世
分类号 15-99 主分类号 15-99
代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 代理人 苏娟
主权项
地址 日本东京都