导光装置

摘要

光纤束(16)的光射出端面一侧前端部被套筒部件(13)和射出部外围(14)所覆盖。将保持玻璃棒(40)的玻璃棒保持部件(42)安装在射出部外围(14)上。由定位销(44)将玻璃棒(40)固定在玻璃棒保持部件(42)上，使它的光入射端面(40i)与光纤束(16)的光射出端面(16o)对置。玻璃棒(40)的光射出端面(40o)成为矩形形状。在从光射出端面(40o)射出的光在玻璃棒(40)的边界面上全反射并进行转播的过程中，能够使整个截面上的照度均匀化，并且将截面整形成矩形形状。

主权项

一种导光装置，用于半导体晶片周边部分的曝光，其特征在于：具有通过将多个光纤捆绑成束构成的、具有第1光入射端面和第1光射出端面的光纤束；具有第2光入射端面和第2光射出端面，通过从所述第2光入射端面取入从所述光纤束的第1光射出端面射出的光，并导入到所述第2光射出端面，使在从所述第2光射出端面射出的光的截面上的照度均匀化的玻璃棒；和以使所述玻璃棒的第2光入射端面与所述光纤束的第1光射出端面对置的方式，将所述玻璃棒固定在所述光纤束的光射出端面一侧前端部分的玻璃棒保持部件，所述玻璃棒的第2光射出端面为矩形形状，所述玻璃棒满足由下列公式(1)和(2)表示的关系式， L > d 2 1 tan θ ′ - - - ( 1 ) nsinθ＝n′sinθ′ (2)其中L[mm]：所述玻璃棒的长度d[mm]：在所述玻璃棒的第2光射出端面上的对角线长度n：空气的折射率n′：所述玻璃棒的折射率θ：从所述光纤到空气中的最大射出角度θ′：当从所述光纤以最大射出角度射出的光入射到所述第2光入射端面时的折射角。