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发明名称 Electrostatic chuck and manufacturing method thereof
摘要
申请公布号 EP1837317(A3) 申请公布日期 2010.04.21
申请号 EP20070251158 申请日期 2007.03.20
申请人 NGK INSULATORS, LTD. 发明人 MORI, YUTAKA;NOBORI, KAZUHIRO
分类号 C04B35/581;H01L21/683 主分类号 C04B35/581
代理机构 代理人
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