| 摘要 |
Eine Vorrichtung zur Erfassung einer physikalischen Größe weist auf: ein erstes Mittel zur Erzeugung einer Spannung, die zur Positionsregelung eines beweglichen Körpers verwendet wird; ein zweites Mittel zur Erfassung einer Position des beweglichen Körpers während einer Positionserfassungsperiode; ein drittes Mittel zur Berechnung einer Regelgröße, die erforderlich ist, um den beweglichen Körper an einer vorbestimmten Position zu halten, auf der Grundlage eines Erfassungsergebnisses des zweiten Mittels, und zum Bewirken, dass das erste Mittel eine Regelspannung entsprechend der berechneten Regelgröße erzeugt, um den beweglichen Körper während einer Positionsregelungsperiode an der vorbestimmten Position zu halten; und ein viertes Mittel zum Einstellen der Positionserfassungsperiode und der Positionsregelungsperiode derart in einem Zeitteilverfahren, dass sich die Positionserfassungsperiode und die Positionsregelungsperiode nicht gegenseitig überlappen. |
