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Ein Substratsatz ist ein Maskenrohlingssubstratsatz, der mehrere Substrate enthält, die jeweils zur Verwendung in einem Maskenrohling für die Herstellung einer Photomaske vorgesehen sind, die auf einen Maskentisch einer Belichtungsvorrichtung aufgespannt werden soll. In jedem der Substrate in dem Maskenrohlingssubstratsatz weist eine Hauptfläche auf der Seite, wo eine Dünnschicht zur Ausbildung einer Übertragungsstruktur auszubilden ist, eine konvexe Form auf, die in ihrer Mitte relativ hoch und an ihrem Randabschnitt relativ niedrig ist. In jedem Substrat beträgt die Ebenheit in einer einen Mittelabschnitt einschließenden quadratischen Fläche von 142 mm Seitenlänge der Hauptfläche 0,3 µm oder weniger, und die Differenz nach dem Anpassen an eine Hauptbezugsfläche eines Bezugssubstrats beträgt 40 nm oder weniger (Fig. 1). |
