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经营范围
发明名称
POSITIONING SYSTEM, METHOD, AND LITHOGRAPHIC APPARATUS
摘要
申请公布号
US2010091262(A1)
申请公布日期
2010.04.15
申请号
US20090576079
申请日期
2009.10.08
申请人
ASML NETHERLANDS B.V.
发明人
TOUSAIN ROBERTUS LEONARDUS;HAMERS MARTIJN ROBERT;RAAYMAKERS JEROEN ARNOLDUS LEONARDUS JOHANNES
分类号
G03B27/58;G05B11/36
主分类号
G03B27/58
代理机构
代理人
主权项
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