Verfahren zur Herstellung einer verspannten Schicht auf einem spannungskompensierten Schichtstapel mit geringer Defektdichte, Schichtstapel und dessen Verwendung
摘要
申请公布号
DE102006010273(B4)
申请公布日期
2010.04.15
申请号
DE200610010273
申请日期
2006.03.02
申请人
FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH
发明人
MANTL, SIEGFRIED;BUCA, DAN MIHAI;HOLLAENDER, BERNHARD
