| 发明名称 |
Bottom Antireflective Coating Compositions |
| 摘要 |
Antireflective coating compositions are discussed.
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| 申请公布号 |
US2010092894(A1) |
申请公布日期 |
2010.04.15 |
| 申请号 |
US20080250563 |
申请日期 |
2008.10.14 |
| 申请人 |
LIU WEIHONG;LIN GUANYANG;CHO JOON YEON;YIN JIAN;MULLEN SALEM K;NEISSER MARK |
发明人 |
LIU WEIHONG;LIN GUANYANG;CHO JOON YEON;YIN JIAN;MULLEN SALEM K.;NEISSER MARK |
| 分类号 |
G03F7/20;C07D251/32;C09D5/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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