| 发明名称 |
HOCHDICHTES FINFET-INTEGRATIONSVERFAHREN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT461526(T) |
申请公布日期 |
2010.04.15 |
| 申请号 |
AT20040777137T |
申请日期 |
2004.06.25 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
NOWAK, EDWARD |
| 分类号 |
H01L27/108;H01L21/336;H01L21/84;H01L27/12;H01L29/76;H01L29/78;H01L29/786;H01L29/94;H01L31/119 |
主分类号 |
H01L27/108 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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