光电感应式腔体观察窗

摘要

本发明提供了一种光电感应式腔体观察窗，安装在对真空度要求极高的用于镀膜用的腔体上，其包括法兰座、传感器装置及玻璃板，法兰座安装于腔体上，法兰座呈中空结构，中空结构形成收容腔，腔体开设有与收容腔相对应的观察通道，玻璃板收容于收容腔内且密封观察通道，其中，还包括密封部件，密封部件包括压环及密封圈，压环抵触于玻璃板与腔体之间且收容于收容腔内，压环开设有与观察通道相对应的观察口，压环的外侧具有与密封圈相匹配的压环槽，密封圈的一端与压环槽抵触，另一端与收容腔的内壁抵触，传感器装置安装于法兰座上且延伸至收容腔正上方，使本发明光电感应式腔体观察窗具有优异密封性能，维护极易并能精准地监控腔体内器件镀膜状况。

主权项

一种光电感应式腔体观察窗，适应于安装在对真空度要求极高的用于镀膜用的腔体上，所述光电感应式腔体观察窗包括法兰座、传感器装置及玻璃板，所述法兰座安装于所述腔体上，所述法兰座呈中空结构，所述中空结构形成收容腔，所述腔体开设有与所述收容腔相对应的观察通道，所述玻璃板收容于所述收容腔内且密封所述观察通道，其特征在于：还包括密封部件，所述密封部件包括压环及密封圈，所述压环抵触于所述玻璃板与所述腔体之间且收容于所述收容腔内，所述压环开设有与所述观察通道相对应的观察口，所述压环的外侧具有与所述密封圈相匹配的压环槽，所述密封圈的一端与所述压环槽抵触，所述密封圈的另一端与所述收容腔的内壁抵触，所述传感器装置安装于所述法兰座上且延伸至所述收容腔正上方。