碳膜

摘要

[课题]一种能够以良好的粘附性被涂覆到各种基板，具有保持高透明度、具有高折射率和小双折射性的光学特性，电气绝缘性优异，以及能够在低温下形成的碳膜和层叠体，以及其应用。[解决手段]一种碳膜，其具有在通过CuKa1线的X线衍射光谱中可通过重叠43.9°的布拉格角(2θ±0.3°)处的峰拟合曲线A、41.7°处的峰拟合曲线B以及基线得到的近似光谱曲线，且具有2nm至100μm的膜厚。前述近似光谱中，拟合曲线B的强度相对于拟合曲线A的强度优选从5％至90％。在碳膜中，拉曼位移具有拉曼散射光谱中1333±10cm-1的峰，和该峰的半值宽度是10-40cm-1。而且，发明涉及一种层叠体，其特征在于在基板上设置包括碳颗粒集聚的、厚度2nm至100μm的碳集聚膜，碳颗粒具有上述近似光谱曲线。而且，发明涉及具有上述层叠体的光学器件、光学玻璃、手表、电子基板或者研磨工具。

主权项

一种碳膜，其具有通过Cu Ka1线的X线衍射光谱中的一近似光谱曲线，该近似光谱曲线可通过重叠43.9°的布拉格角2θ±0.3°处的峰拟合曲线A和41.7°处的峰拟合曲线B以及基线得到，所述拟合曲线B具有相对于拟合曲线A的强度5-90％的强度，所述碳膜具有2nm至100μm的膜厚，所述碳膜具有在拉曼散射光谱中峰位于1333±10cm-1处的拉曼位移，所述峰的半值宽度是10-40cm-1，以及其中拟合曲线A是皮尔森VII函数的曲线，拟合曲线B是非对称正态分布函数的曲线，和基线由一次函数表示。