发明名称 |
FRAGILE MATERIAL SUBSTRATE SCRIBER, FRAGILE MATERIAL SUBSTRATE PROCESSING MACHINE, FRAGILE MATERIAL SUBSTRATE POLISHING DEVICE, AND FRAGILE MATERIAL SUBSTRATE PARTING SYSTEM |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1475357(A4) |
申请公布日期 |
2010.04.14 |
申请号 |
EP20030700588 |
申请日期 |
2003.01.15 |
申请人 |
MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD. |
发明人 |
EJIMATANI, AKIRA;OKAJIMA, YASUTOMO;NISHIO, YOSHITAKA |
分类号 |
C03B33/03;B23Q16/06;B24B9/06;B28D5/00;B65G49/06;C03B33/027;C03B33/037;C03B33/07;C03B33/10;G02F1/1333 |
主分类号 |
C03B33/03 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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