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发明名称 PREPARATION OF A RELAXED SiGe LAYER ON AN INSULATOR
摘要
申请公布号 EP1320883(B1) 申请公布日期 2010.04.14
申请号 EP20010972244 申请日期 2001.09.27
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CANAPERI, DONALD;CHU, JACK, OON;D'EMIC, CHRISTOPHER;HUANG, LIJUAN;OTT, JOHN, ALBERT;WONG, HON-SUM, PHILIP
分类号 H01L21/02;H01L21/762;H01L21/20;H01L21/336;H01L21/338;H01L21/76;H01L27/12;H01L29/778;H01L29/786;H01L29/812 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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