| 发明名称 |
Method and apparatus for producing thin films |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0936284(B1) |
申请公布日期 |
2010.04.14 |
| 申请号 |
EP19990201027 |
申请日期 |
1994.12.23 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
FOSTER, ROBERT F.;LEBLANC, RENE E.;HILLMAN, JOSEPH T. |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/50;C23C16/00;C23C16/34;C23C16/04;C23C16/14;C23C16/30;C23C16/42;C23C16/452;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/509;C23C16/56;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;H01L51/30 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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