增加太阳能锗衬底片强度的腐蚀方法

摘要

本发明公开了一种增加太阳能锗衬底片强度的腐蚀方法，首先是腐蚀药配置，腐蚀1#药液：HF+H2O＝150ml+1200ml；腐蚀2#药液：CH3COOH+Br2+HNO3＝150ml+3ml+250ml；腐蚀：1#液腐蚀，取一盒研磨过的锗衬底片，用纯水冲淋后，将片架水平放入腐蚀槽内，片架内锗衬底片的部分要全部浸入1#腐蚀液中，并轻轻将其水平晃动，第一次腐蚀为10秒，10秒后取出片架，用纯水冲淋，再放入清洗槽中，取出一片量其厚度，根据腐蚀的厚度决定下一次腐蚀时间；2#液腐蚀，每次腐蚀10片，腐蚀时间为20～30秒，20～30秒后取出片架，用纯水冲淋，再放入清洗槽中。

主权项

一种增加太阳能锗衬底片强度的腐蚀方法，其特征在于，腐蚀药配置：腐蚀1#药液：HF+H2O(纯水)＝150ml+1200ml；取1200ml纯水放入腐蚀槽中，再量取150ml HF倒入腐蚀槽中；腐蚀2#药液：CH3COOH+Br2+HNO3＝150ml+3ml+250ml；量取150ml CH3COOH滴入3ml Br2，待Br2溶解后，加入250ml HNO3：腐蚀：(1)1#液腐蚀取一盒研磨过的锗衬底片，用纯水冲淋后，将片架水平放入腐蚀槽内，片架内锗衬底片的部分要全部浸入1#腐蚀液中，并轻轻将其水平晃动；第一次腐蚀为10秒左右，10秒后取出片架，用纯水冲淋，再放入清洗槽中；取出一片量其厚度，根据腐蚀的厚度决定下一次腐蚀时间；(2)2#液腐蚀每次腐蚀10片左右，腐蚀时间为20～30秒左右，20～30秒后取出片架，用纯水冲淋，再放入清洗槽中；取出一片擦干后测其厚度，如达到要求厚度则用大量纯水冲洗片子，甩干后检查，合格后进入下一道工艺。