| 发明名称 | 差分微调地脚 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种地脚，尤其涉及一种差分微调地脚。所述差分微调地脚，安装在设备的下方，包括地脚座和调节螺杆，所述地脚座通过所述调节螺杆与设备下部连接，所述调节螺杆两端均有相同旋向的螺纹，且两端螺纹的螺距相差较小，两端螺纹螺距的差值为其中较大的螺纹螺距的1/20～1/2。本实用新型结构简单、使用方便，由于精密调整时，地脚座不动，仅让调节螺杆旋转，当调节螺杆转动一圈时，设备移动的距离仅为调节螺杆两端的螺距差。由于两端的螺距相差较小，差值仅为较大螺距的1/20～1/2，所以可以达到精密差分调整的目的，便于设备精细调平，且操作方便。 | ||
| 申请公布号 | CN201437889U | 申请公布日期 | 2010.04.14 |
| 申请号 | CN200920077326.9 | 申请日期 | 2009.06.26 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 韩良华 |
| 分类号 | F16M7/00(2006.01)I | 主分类号 | F16M7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种差分微调地脚，安装在设备的下方，包括地脚座和调节螺杆，所述地脚座通过所述调节螺杆与设备下部连接，其特征在于：所述调节螺杆两端设有相同旋向的螺纹，且两端螺纹螺距的差值为其中较大的螺纹螺距的1/20～1/2。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张江高科技园区张东路1525号 | ||