一种工业化连续制备四氟化硅的方法

摘要

本发明提供一种工业化连续制备四氟化硅的方法－利用生成硅烷的副产物NaAlF4或CaF2和SiO2在300～600℃温度下煅烧二十分钟，生成两种物质的络合物，自然冷却，再与浓硫酸相混合；在100℃～300℃、微负压条件下的回转反应炉中反应，生成四氟化硅、水蒸气及少量的氟化氢。本发明有效地解决了对设备的腐蚀，降低了生产成本，使量能和产能都得到了大幅提高。

主权项

一种工业化连续制备四氟化硅的方法，其特征是包括以下步骤：(1)NaAlF4或CaF2和SiO2混合均匀在300～600℃温度，微负压10～50mmH2O下在煅烧炉内煅烧，生成两种物质的络合物；(2)经过煅烧的NaAlF4或CaF2和SiO2的络合物再与100％浓硫酸相混合；在100℃～300℃、微负压5～20mmH2O条件的回转反应炉中反应，生成四氟化硅、水蒸汽及少量的氟化氢；(3)产生的四氟化硅气体经过除尘、冷却、干燥、精制、压缩、收集高纯的四氟化硅气体。