用于现场衬底温度监控的方法和设备

摘要

本发明公开了一种在等离子体处理系统中确定衬底温度的方法。该方法包括将衬底放置在衬底支撑结构上，其中，衬底支撑包括卡盘。该方法还包括为衬底创建温度校准曲线，通过在第一等温状态期间用电磁测量装置至少测量第一衬底温度以及用物理测量装置测量第一卡盘温度来创建温度校准曲线。该方法还包括在等离子体处理期间采用电磁测量装置的测量值和温度校准曲线来确定衬底的温度。

主权项

一种在等离子体处理系统中确定衬底的温度的方法，包括：将所述衬底放置在衬底支撑结构上，其中，所述衬底支撑结构包括卡盘；将传热气体引入所述衬底与所述卡盘之间；为所述衬底创建温度校准曲线，在所述等离子体处理系统中没有等离子体的情况下，通过在所述衬底的第一等温状态期间用电磁测量装置至少测量第一衬底温度和用与所述卡盘热接触的物理温度测量装置测量第一卡盘温度来创建所述温度校准曲线；在等离子体处理期间，利用等离子体处理气体采用来自所述电磁测量装置的测量值和所述温度校准曲线来确定所述衬底的温度，其中，在所述等离子体处理过程中在所述等离子体处理系统中存在所述等离子体。