镀膜过程旋转控制换片机构

摘要

一种镀膜过程旋转控制换片机构，包括球形卡具和固定装配于所述球形卡具的换片装置，所述换片装置包括：一固定座，所述固定座包括一圆盘状本体、自所述圆盘状本体的上表面周缘向上突出形成的环形凸缘以及自所述圆盘状本体向下突出形成并用于与所述球形卡具相配合固定装配的固定部，所述环形凸缘的内侧表面、所述圆盘状本体的上表面之间共同形成一转盘容置空间，且在所述圆盘状本体上形成有上下贯通的圆形通孔；转盘，可转动的设置于所述容置空间中，且所述转盘形成有均匀分布的多个圆形通孔。本实用新型具有可以达到镀制窄带滤光片层数要求，并可以得到理想的窄带滤光片光谱特性等优点。

主权项

一种镀膜过程旋转控制换片机构，包括球形卡具和固定装配于所述球形卡具的换片装置，其特征在于，所述换片装置包括：一固定座，所述固定座包括一圆盘状本体、自所述圆盘状本体的上表面周缘向上突出形成的环形凸缘以及自所述圆盘状本体向下突出形成并用于与所述球形卡具相配合固定装配的固定部，所述环形凸缘的内侧表面、所述圆盘状本体的上表面之间共同形成一转盘容置空间，且在所述圆盘状本体上形成有上下贯通的圆形通孔；转盘，可转动的设置于所述容置空间中，且所述转盘形成有均匀分布的多个圆形通孔。