发明名称 |
臭氧浓度传感器 |
摘要 |
一种装置和方法提供了对诸如臭氧化水中的臭氧等液体成分的测量。该装置(100)包括容纳液体的器皿(110)、被配置成引导第一光带和第二光带沿着基本共享的路径通过该器皿内的液体的光源(120、120a、120b)、以及感测该第一光带和第二光带的光电传感器(130)。该成分与第一光带相关联的吸收要大于与第二光带相关联的吸收。该方法包括响应于所感测的第二光带而对该组分的被测属性进行修改以改善被测属性的准确度。 |
申请公布号 |
CN1930464B |
申请公布日期 |
2010.04.14 |
申请号 |
CN200580007897.X |
申请日期 |
2005.03.07 |
申请人 |
MKS仪器股份有限公司 |
发明人 |
S·莱文;J·塞沃特;J·洛尔;U·布拉默;J·菲特考 |
分类号 |
G01N21/31(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/31(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
陈炜 |
主权项 |
一种用于测量臭氧浓度的装置,所述装置包括:容纳臭氧化水的器皿;光源,被配置成引导黄-红光带和蓝光带沿着基本共享的路径通过所述器皿内的臭氧化水,其中所述臭氧具有的与所述黄-红光带相关联的吸收要大于与所述蓝光带相关联的吸收;以及光电传感器,感测沿着所述基本共享的路径通过的所述黄-红光带和所述蓝光带,以便测量臭氧化水中的臭氧的浓度。 |
地址 |
美国马萨诸塞州 |