一种用于微纳显微技术的复合悬臂梁针尖及其制作方法

摘要

本发明涉及一种用于微纳显微技术的复合悬臂梁针尖及其制作方法。本发明包括底座，悬臂梁和针尖，其特征在于，在底座，悬臂梁和针尖上有一层绝缘介电层，在绝缘介电层上分布4个阻值相等的压敏电阻，其中两个压敏电阻位于底座上，另外两个压敏电阻位于悬臂梁上且平行于悬臂梁的长度方向分布，通过导线将4个压敏电阻连接成一个惠斯通电桥。利用本发明的复合悬臂梁针尖将不再使用激光定位测量扫描探针显微镜悬臂梁针尖所发生的微小应变，而是将能够精确测量微小应变的压敏电阻与悬臂梁针尖耦合在一起，测量悬臂梁与样品发生作用时的力学信号，以及静电力的大小，磁场的分布等信息，属于微机械传感器技术领域。

主权项

一种用于微纳显微技术的复合悬臂梁针尖，包括底座，悬臂梁和针尖，其特征在于，在底座，悬臂梁和针尖上有一层绝缘介电层，在绝缘介电层上分布4个阻值相等的压敏电阻，其中两个压敏电阻位于底座上，另外两个压敏电阻位于悬臂梁上且平行于悬臂梁的长度方向分布，通过导线将4个压敏电阻连接成一个惠斯通电桥。