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发明名称 CHUCKING MEMBER, SUBSTRATE TREATING APPARATUS HAVING THE SAME AND METHOD OF TREATING SUBSTRATE USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100952671(B1) 申请公布日期 2010.04.13
申请号 KR20070138659 申请日期 2007.12.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/687 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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