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发明名称 POLISHING COMPOUND, METHOD FOR PRODUCTION THEREOF AND POLISHING METHOD
摘要
申请公布号 KR100952870(B1) 申请公布日期 2010.04.13
申请号 KR20097025403 申请日期 2002.10.23
申请人 发明人
分类号 C09K3/14;B24B37/00;C09G1/02;H01L21/321 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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